分子真空泵是利用高速旋轉的轉子把動(dòng)量傳輸給氣體分子。使之壓縮、排氣的一種真空泵。有如下3中形式。1）牽引分子泵，高速旋轉的轉子表面與氣體分子相碰，把動(dòng)量傳給氣體分子，將氣體分子拖動(dòng)到真空泵的出口排出。因此，他是一種動(dòng)力傳輸泵。2）渦輪分子真空泵，真空泵內裝有多級帶槽的圓盤(pán)或葉片的轉子，在定子圓盤(pán)間旋轉，轉子的元周線(xiàn)速度很高，通常在分子流狀態(tài)下工作。3）復合式分子真空泵，它是由渦輪分子真空泵和牽引分子真空泵優(yōu)化組合，串聯(lián)起來(lái)工作的一種佛山真空泵，可在分子流或過(guò)度流狀態(tài)下工作。
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