測量原理、結構及應用范圍
是使用沉積在兩個(gè)導電電極上的聚胺鹽或醋酸纖維聚合物薄膜。當薄膜吸水或失水后，會(huì )改變兩個(gè)電極間的介電常數。目前還有一種技術(shù)是使用耐高溫的熱固性聚合物，可使得這類(lèi)傳感器在高于 100 ℃ 的情況下進(jìn)行連續測量。
1.基體，一般為玻璃，主要作用是支撐傳感器的其它部分。
2.電極中的一個(gè)，由導電材料做成。
3.薄膜層。是傳感器的心臟，薄膜吸水的數量與周?chē)h(huán)境的相對濕度有關(guān)。這層膜的厚度一般為 1~10(µm) 。
4.上部電極，對于傳感器的性能同樣起著(zhù)重要作用。為了得到快速響應，必須有較高的水的滲透性。同時(shí)也是導電性材料。
5.上部電極的接觸墊。由于對上部電極的設計有較多的限制條件，因此為了接觸良好，需加上一塊單獨的金屬。
其測量范圍較廣，從 -50 ℃ ~100 ℃ 露點(diǎn)�？捎糜谳^廣的溫度范圍內，有時(shí)不需要溫度補償。耐高溫的熱固性樹(shù)脂允許這類(lèi)電容式濕度傳感器可以在溫度 185 ℃ 下進(jìn)行連續測量，最高使用溫度取決于傳感器的包裝材料。對于熱固性樹(shù)脂的傳感器來(lái)說(shuō)，其另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是在 -50 ℃ ~100 ℃ 溫度范圍內，溫度系數較小，因此可以很容易地在很寬的范圍內達到準確測量。
所有的相對濕度傳感器都對溫度敏感，假如在一個(gè)溫度下進(jìn)行校準，在另外溫度下使用時(shí)會(huì )帶來(lái)誤差。聚合物傳感器的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)就是它們對溫度的依賴(lài)性較小，即溫度系數較小。因此當使用溫度與校準溫度不同時(shí)，其誤差較小。如果在極限溫度下使用，或對準確度要求較高，則需進(jìn)行電子溫度補償。當溫度跨度小于 50 ℃ 時(shí)，進(jìn)行溫度補償較容易。當溫度范圍再寬時(shí)，進(jìn)行溫度補償則有些困難。但是現代的聚合物傳感器可以在很窄的范圍內準確度達到 ±1%RH ，在很寬的溫度和濕度范圍內可以達到 ±3%RH 。使用一段時(shí)間后，或被污染后，需進(jìn)行重新校準。
優(yōu)缺點(diǎn)
優(yōu)點(diǎn)：響應快，溫度及濕度測量范圍寬，線(xiàn)性好，幾乎沒(méi)有滯后，穩定性及重復性較好，溫度系數低，成本低。
缺點(diǎn)：間接測量?jì)x器，需定期校準，對某些污染物敏感，不能在腐蝕性的環(huán)境下工作；盡管很低，仍具有溫度依賴(lài)性。
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