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 當前位置:首頁(yè) >>> 技術(shù)文章 >>> 簡(jiǎn)單介紹氧化鋁電容式濕度計 - 正文
測量原理、結構及應用范圍
該儀器形式繁多,例如便攜式電池操作的、帶微處理器可進(jìn)行數據處理的、顯示多參數的等等。但其本質(zhì)是一個(gè)電容器,通過(guò)將一薄層孔狀的氧化鋁沉積在導電的基體上,然后再在氧化鋁薄層上涂敷一層薄金。導電基體和金薄層就形成電容器的電極。水蒸氣穿過(guò)金薄層被孔狀的氧化鋁吸收,這個(gè)電容器的阻抗與水分子個(gè)數,即水汽分壓成一定的比例。通過(guò)測量該電容器的阻抗或電容可獲得水汽分壓,通過(guò)換算可得到露點(diǎn)值。結構見(jiàn)圖 2-7 。

位于鋁和金電極之間的氧化鋁薄層在 10-3Pa( 約相當于 -110 ℃ 露點(diǎn) ) 到水的飽和汽壓的整個(gè)范圍內都有響應。由于其對水的強烈的親和力,再加上水的較大的介電常數,使得這類(lèi)儀器對水有高度的選擇性,而對其它普通氣體及有機氣和液體沒(méi)有響應。

在中高濕范圍其準確度一般為 ±1~±2 ℃ ,低濕范圍,比如 -100 ℃ 時(shí),準確度一般為 ±2~±3 ℃ 。該類(lèi)傳感器不與烴類(lèi)氣體、 CO 、 CO2 、含氯氟烴氣體發(fā)生反應,但對于不同的氣體其漂移不同。對于某些腐蝕性氣體,例如氨、 SO3 以及氯,則會(huì )損壞傳感器,因此應盡量避免。

使用注意事項
這類(lèi)儀器通常的測量范圍為 -110 ℃ ~+20 ℃ 。當被測露點(diǎn)較高時(shí),會(huì )使得儀器產(chǎn)生較大的漂移。同時(shí)還需注意溫度系數。由于其對水汽分壓產(chǎn)生響應,因此應注意測量時(shí)氣體總壓的變化。

應避免灰塵、油污,測量時(shí)氣體流量較大,一般為 3~5 ( L/min ),甚至更大。
優(yōu)缺點(diǎn)
優(yōu)點(diǎn):較寬的響應范圍,從 1μL/L ( ppmv )到 80%RH ,可以遠程安裝,可以現場(chǎng)使用,相對穩定,響應較快,溫度系數較小,與流量變化無(wú)關(guān),對水分有較高的選擇性,可以在較寬的溫度和壓力范圍內使用,日常維護量較小,體積小。
缺點(diǎn):該方法是間接測量,在較高的溫度下操作或某些氣體會(huì )引起漂移,受腐蝕性氣體的影響,必須定期校準以克服老化、滯后及污染。由于響應值非線(xiàn)性,因此需對每只傳感器進(jìn)行校準,不能通用。
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